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场发射扫描电镜

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KYKY-EM8100F(Pro)场发射扫描电镜 低压新指标

发布日期:2017/12/5  浏览次数:5261次

  • 参数
  • 优势

项目

KYKY-EM8100F性能参数

分辨率

SE:1 nm(15KV); 3nm(1KV);BSE:2.5nm(20Kv)

放大倍数

15x~800,000x

加速电压

0 ~ 30Kv

电子枪

Schottky肖特基场发射电子枪

自动调整功能

聚焦、亮度/对比度、消像散、电子束对中等

真空系统

高真空二次电子,四分割背散射探测器(具备保护探测器探头不被碰撞的功能)

5轴全自动样品台

X

0 ~ 150mm(自动)

Y

0 ~ 150mm(自动)

Z

0 ~ 60mm(自动)

R

360°(自动)

T

-5° ~ 75°(自动)

探测器

SE探测器,BSE探测器,X-ray能谱仪(可选),EBSD(可选)

Ø 国产热场发射最新产品,超大样品台,超强可改造性。

Ø Schottky肖特基场发射电子枪亮度高、单色性好、电子束斑小,寿命长

Ø 低电压模式下能保持较好的亮度和较高的分辨率

Ø 束流稳定度高、色散小,适宜于长时间的各种精确分析,如BSEEDSEBSD

Ø 低加速电压不导电样品可以直接观测,无需喷金

Ø 操作简便,仅用鼠标即可完成所有的电镜操作



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