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镀膜机

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镀膜机

发布日期:2014-4-21  浏览次数:1492次

  • 参数
  • 优势
   SBC-2型多功能试样表面处理机是为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备。它可以在高纯氩气的保护下进行多种离子处理。亦可进行真空蒸碳和真空蒸金属。用本设备处理之试样既可以用于样品的外貌观察又可进行成份分析。尤其是成份的定量分析更为适宜。采用分子泵系统,特别适于对真空要求高,真空环境好的用户选用。
应用领域:
离子喷涂、离子溅射、离子清洗、真空蒸碳、真空蒸金属等工作
技术指标:
Ø       钟罩尺寸:内径Φ250mm×高度340mm
Ø       玻璃处理室:内径Φ88mm×高度140mm
Ø       内径:Φ88mm×高度57mm
Ø       试样台尺寸:Φ40mm(最大)
Ø       金靶尺寸:Φ38mm
Ø       真空度:优于2×10-3Pa
Ø       试样运动方式:平面转动、倾斜旋转、倾斜进动
Ø       真空系统:分子泵、机械泵组成的高真空机组
Ø       真空检测:热偶计、冷规
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