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小型离子溅射仪

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小离子溅射仪

发布日期:2014-4-21  浏览次数:1632次

  • 参数
  • 优势

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。
Ø       玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm
Ø       试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯
Ø       金靶尺寸:Φ58mm
Ø       真空系统:直联旋片真空泵2L/S
Ø       真空检测:皮氏计
Ø       真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空
Ø       工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节

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